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웨이퍼 이송 로봇Ⅱ 2004.09.11해당카페글 미리보기
정도규격도 엄격해 지고 있다. 노광기의 경우처럼 고정밀안내부에는 공기를 이용한 정압베어링을 적용된 경우도 있으나, 기존의 구름안내구조로서 고정도를 실현한 실험예를 아래에 나타내었다. <측정조건> 형번 : SHS25LC2UUC0S+640LUP 구동장치 : KR4610...
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프레스 금형 기초 3 2005.11.12해당카페글 미리보기
형식의 규격표 (5) 가이드 포스트와 가이드 부시 1) 평면 가이드 방식 가이드 포스트와 가이드 부시만의 미끄럼 운동에 의해 직선운동을 전달하는 것으로 범용 금형에 사용한다. 그림 3-31 평면 가이드 d D 틈새(양측) 20 20 +0.006 +0.002 +0.012 +0.002...