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증착, 식각 공정 2024.09.05해당카페글 미리보기
화학약품 등을 사용하는 습식 식각과 부식성가스 등을 사용하는 건식 식각으로 구분 - 식각 시 사용되는 PFC 계열의 CF4, CHF3 공정가스로 인해 지구온난화 문제를 가지고 있어 POU 스크러버 등 처리기술이 요구됨 ○ POU 스크러버(POU(Point of Use/Unit...
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[보고서] "2024 국내외 에너지 및 자원 재활용 분야 시장분석과 기술개발 전략" 2024.11.04해당카페글 미리보기
1) 국내 핵심품목 (2) 국내 전략품목 정의 가. 온실가스 저감형 마찰교반 용접시스템 나. 탄소중립형 화학동도금 폐수 처리...마. PVC 폐플라스틱 활용 오일 생산 시스템 바. 반도체 공정용 CF4 처리 시스템 사. 전기 유도 용해로 아. 고효율 e-메탄올...
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가스에 대하여2 2008.09.29해당카페글 미리보기
용기 파손 시 압력에 의한 재해 발생(이동하거나 미사용 시 Cap 부착). 실린더 내용량은 압력으로 측정(일부 가스(SiH4, NF3, CF4)는 무게로도 측정). * 비상 대응 이슈(ER Issues) 누출 시 캐스캐이드(Cascade) 법으로 반송 처리. * 임계 온도(critical...
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2024년도 중소기업기술혁신개발사업 시장대응형(재도약) 제3차 시행 계획 공고 2024.07.10해당카페글 미리보기
수소자동차 충전 시스템 친환경 공정전환 (8개) · 온실가스 저감형 마찰교반 용접시스템 · 탄소중립형 화학동도금 폐수 처리...PVC 폐플라스틱 활용 오일 생산 시스템 · 반도체 공정용 CF4 처리 시스템 · 전기 유도 용해로 · 고효율 e-메탄올 생산...
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cf4 33-27.5 팝니다 2017.02.01해당카페글 미리보기
모델명 - cf4 3. 사이즈 -33-27.5 4. 워런티여부 - 노 (ex : 가능/불가능) ※제품상태 :중 (판매자는 크렉, 덴트 유무를 필히 확인하고 필수기재 할 것! / 구매자 제품받음과 동시 필히 확인!) 새제품가 : \ 모름 (ex-시세기준) ※구입가 : \ 11 (전판매자...
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순수가스 data 2006.03.25해당카페글 미리보기
SF6 육불화황 99.999 3.5 10 47 10 kg 40 kg ∮22 - 14 山 右 CF4 사불화탄소 99.999 10 47 7 kg 32 kg ∮22 - 14 山 右 CHF3...99.999 47 30 kg ∮22 - 14 山 右 대기오염감시용 표준가스 가스명 Name of Gas 조성 용기 (L) 충전량 밸브규격 대기오염...
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반도체 공정가스와 허용농도 2014.11.03해당카페글 미리보기
산소 CF4/O2 3 6불화에탄/산소 C2F6/O2 3 불화텅스텐 WF6 0.75 IMPLANTER 아르신 AsH3 0.05 0.05 (노동부고시) 포스핀 PH3 0.3 0.3 (노동부고시) 3불화붕소 BF3 1 C1 (노동부고시) a),TLV(Tolerance Limit Value는 ACGIH-1978(American Conference of...
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고압가스 저장 및 취급방법 2009.07.11해당카페글 미리보기
ㄷ) 적절한 시간에 실린더를 반환한다. 부식성 GAS는 3개원 이하이다. ㄹ) GAS사용은 통풍이 잘되는 곳에서 한다. 고압가스의 종류 상태에 따른 분류 1) 압축가스 : O2, H2, N2, Air, CO, NO, Kr, D2, CF4 등 무계목 용기에 100~120kg/cm^2로 압축하여...
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가스와 금속의 반응성 2013.04.10해당카페글 미리보기
CF4, H2, N2, HCl, CO, NH3, SiH4, C2H2, O2, CO2, NF3 4. 스테인레스틸316L(STS316L) - Cl2, BCl3, HF, CF4, H2, N2, HCl, CO...오로지 반응성(산화, 부식) 만으로 사용해서는 안돼는 가스를 알려주세요. 왜 안돼는지까지 알려주시면 감사하겠습니다...
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국내 몇몇 특수가스업체 F2제너레이터 등 속속 개발 F2는 에칭속도 우수하고 GWP 낮아 소자업체 관심 2009.05.25해당카페글 미리보기
것으로 드러났다. NF3는 당초 C2F6, CF4, SF6 등 지구온난화지수(GWP)가 높은 PFCs(Prefluoro Carbon) 대체물질로 사용됐으나...매우 우려스러운 수준으로 증가하면서 많은 과학자들이 포스트 교토의정서에서는 NF3를 온실가스로 포함시켜야 한다는 주장을...