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■ 엘티씨 - 3나노 반도체 EUV 식각장비 삼성전자 공급 ---- 2.3일 2023.02.03해당카페글 미리보기
및 상용화 장비 개발 1. 과제 개요 : 최근 반도체 공정의 나노미터(nm)단위의 공정 미세화가 진행되며, EUV용 포토레지스트 또한 기존 레지스트와는 다른 금속 산화물질에 기반한 신규 레지스트를 사용. 이에 본 과제를 통하여 새로운 개념 의 CLC(Cyclic...
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日 스미토모, 한국서 반도체 EUV 포토레지스트 첫 출하 2022.06.05해당카페글 미리보기
https://n.news.naver.com/article/011/0004061575 '탈일본' 러시 불붙었다…日 스미토모, 한국서 반도체 EUV 포토레지스트 첫 출하 [뒷북비즈] [서울경제] 일본 반도체 소재 업체 스미토모화학이 한국에서 극자외선(EUV) 포토레지스트(감광액)를 본격...
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삼성 벨기에에서 EUV 포토레지스트 수입 2019.08.28해당카페글 미리보기
CKB - 삼성 벨기에에서 EUV 포토레지스트 수입 공식 확인 / 일본정부 불화수소 수출 조건으로 삼성의 첨단 공정 자료 요구. 기밀 훔쳐 도시바 주려는둣. 최초 공개: 2019. 8. 15. 울산과학기술원(UNIST) 기계항공 및 원자력공학부 연구진이 일본이 독점...
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동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화 2021.12.21해당카페글 미리보기
동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화 동진쎄미켐이 삼성전자와 협력, 반도체 초미세공정 필수 소재인 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 개발에 성공했다. EUV PR는 2019년 일본 수출 규제 3대 품목 가운데 하나다. 기술 난도가 높아 전량 www.etnews.com
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![[속보] 日 수출규제 품목 EUV 포토레지스트 韓 수출 첫 허가 이미지](https://search1.kakaocdn.net/argon/130x130_85_c/8BrYmNkBBv9)