카페검색 본문
카페글 본문
-
■ 엘티씨 - 3나노 반도체 EUV 식각장비 삼성전자 공급 ---- 2.3일 2023.02.03해당카페글 미리보기
및 상용화 장비 개발 1. 과제 개요 : 최근 반도체 공정의 나노미터(nm)단위의 공정 미세화가 진행되며, EUV용 포토레지스트 또한 기존 레지스트와는 다른 금속 산화물질에 기반한 신규 레지스트를 사용. 이에 본 과제를 통하여 새로운 개념 의 CLC(Cyclic...
-
日 스미토모, 한국서 반도체 EUV 포토레지스트 첫 출하 2022.06.05해당카페글 미리보기
https://n.news.naver.com/article/011/0004061575 '탈일본' 러시 불붙었다…日 스미토모, 한국서 반도체 EUV 포토레지스트 첫 출하 [뒷북비즈] [서울경제] 일본 반도체 소재 업체 스미토모화학이 한국에서 극자외선(EUV) 포토레지스트(감광액)를 본격...
-
삼성 벨기에에서 EUV 포토레지스트 수입 2019.08.28해당카페글 미리보기
CKB - 삼성 벨기에에서 EUV 포토레지스트 수입 공식 확인 / 일본정부 불화수소 수출 조건으로 삼성의 첨단 공정 자료 요구. 기밀 훔쳐 도시바 주려는둣. 최초 공개: 2019. 8. 15. 울산과학기술원(UNIST) 기계항공 및 원자력공학부 연구진이 일본이 독점...
-
동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화 2021.12.21해당카페글 미리보기
동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화 동진쎄미켐이 삼성전자와 협력, 반도체 초미세공정 필수 소재인 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 개발에 성공했다. EUV PR는 2019년 일본 수출 규제 3대 품목 가운데 하나다. 기술 난도가 높아 전량 www.etnews.com
-
해당카페글 미리보기
-
[2024 DAILY PICK 제194호] '한-영 과학기술 자문기구 간 협력 방안 논의' 등 2024.11.13해당카페글 미리보기
간 협력 방안 논의 ‘0과 1 중첩’ 큐비트 연산, 슈퍼컴 능가… AI 결합땐 활용 무궁무진 일 JSR, 반도체 극자외선(EUV) 공정 포토레지스트 국내 생산거점 구축 삼성전자, 85개 기업에 128건의 특허를 나눔 재난안전 연구개발로 디지털 복제(디지털트윈...
-
세계최초 EUV 포토레지스트 대체용 반도체 패턴 기술 개발 성공 2019.08.16해당카페글 미리보기
com/watch?v=RndS_Wg0-l8 울산과학기술원(UNIST) 기계항공 및 원자력공학부 연구진이 일본이 독점 공급하고 있는 EUV 포토레지스트 없이도 반도체 패턴 만드는 기술 개발에 성공했습니다.연구결과는 기초과학 및 공학분야 국제학술지 '네이처...
-
삼성, EUV용 포토레지스트(PR) 다변화…美 인프리아 PR 적용 추진 2021.07.26해당카페글 미리보기
https://m.etnews.com/20210726000164 삼성, EUV용 포토레지스트(PR) 다변화…美 인프리아 PR 적용 추진 삼성전자가 극자외선(EUV) 노광 공정 핵심 재료인 포토레지스트(PR) 수급을 다변화한다. 삼성은 미국 반도체 소재 업체인 인프리아의 EUV용 PR를...
-
해당카페글 미리보기
-
동진, EUV 포토레지스트 국산화 성공. 유럽 확진자 폭증에 "한국 도와달라" SOS. 씨젠, 280만명분 긴급공급 2021.12.21해당카페글 미리보기
https://youtu.be/COiUi1tj8fk