cafe

디자인해야 한다. 이러한 검토 사항은 최적의 진공 펌프 선정에도 적용된다. ● 진공시스템(예를 들어, 공정 chamber, foreline, 펌프 또는 배기라인) 안으로 외부 공기의 leakage가 발생할 가능성을 반드시 고려해야 한다. 이러한 leakage는 산화제 농도...

of turbo molecular pumps combines the advantages of the high pumping speed associated with the turbo pump and the high foreline pressure acceptance of the drag pump. This unique blending of technologies results in a pump with much higher...

1*10^-3 까지 진공상태에 들어갔었는데요~ 그 이후 디푸젼 오일 펌프를 가동시킨다고 누른 버튼이 로타리 펌프와 연결된 ForeLine 밸브 였습니다. 물론 Diffusion pump 와 Chamber와 연결된 Gate 벨브는 열지 않았구요~ 조금 시간이 지난뒤에 알았지만...

문헌을 참고하기 바란다[3]. 위의 식을 살펴보면 실효 배기 속력은 펌프의 배기 속력과 펌프와 진공 챔버를 연결해 주는 관(foreline)의 conductance 중 작은 값을 따라간다. 이것은 펌프의 배기 속력이 아무리 클지라도 관의 conductance가 작으면 실효...

the gases being pumped. The line connecting the exhaust port and the inlet of the backing pump is called the foreline. The limiting foreline pressure is then called the foreline tolerance, and this limit will vary greatly between pump...

그 역할을 고진공 펌프에게 넘긴 뒤 고진공펌프의 배출구 쪽에 연결되어 보조하게 된다. 이때 명칭은 backing pump 또는 foreline 펌프(배위 보조 펌프)가 된다. backing pump = foreline pump backing pump는 고진공의 입장에서 본 뒤를 받쳐주는 보조...