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디지털 진공 게이지 선택 기준 2024.02.05해당카페글 미리보기
생각보다 범위가 적습니다. 범위가 적다는것은 진공 카운팅이 대기압부터 시작하는것이 아니라 25,000 Micron (24,999 mTorr) 부터 시작한다는 뜻입니다. 그렇기 때문에 대기압이 760,000 Microns 이다보니 25,000 Micron 이상에서의 심각한 누출을 발견...
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스퍼터 증착중 아크발생 원인? 2010.01.15해당카페글 미리보기
원인을 찾고있는데 쉽지가 않습니다. 선배님들의 조언 부탁드립니다. <참고사항> 인가전력 : 500 W (이엔테크놀러지) (DC 450V, 1.1 A) 공정압력 : 5mTorr 초기압력: 1.0*10^-5 Torr 가스 : Ar/N2 10/1 sccm 타겟 : Ti (RND korea) 기판바이어스 : DC -100V
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LLC 공진형 Converter (공진 주파수400Khz) 관련 문제점 해결 부탁드립니다 2016.07.12해당카페글 미리보기
입력 : 입력74V, 1차측 2turn, 2차측 1turn, 소모전류 : 약13A, Ferrite 3단 조립, -->1차측 입력 사이파 250V, 압력 500mTorr, 아르곤가스 주입 - Quartz에서는 방전이 되나 Aluminum tube에서 동작시 방전이 안되며 아래와 같은 문제점이 지속적으로...
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Re:진공모타 성능 문의요.....일단 제작 사용을 보류 하시고..... 2009.07.22해당카페글 미리보기
진공불량으로 무지 불려 다닐지도 모릅니다. 실린더 쪽에 유능한 분들 있으시면 조언을 구해 봅니다. 그리고 진공 , torr ,mtorr 등등 공부해야 될 것들이 많더라고요. 그래서 기술정보 코너를 한참 뒤지고 다녔습니다..... 콤프레샤를 개조해서 쓰실려고...
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스퍼터링으로 증착한 TiN 박막에 크랙이 있네요? 2008.07.03해당카페글 미리보기
같이 크랙이 관찰됩니다. 이유가? 궁금합니다. 증착조건은 다음과 같습니다. 증착물질 TiN 기판: Si(100) DC 700W Sub. Temp 300℃ Sub. Rotation 10rmp Ar/N2= 10/3 B.P. 2.34*10-5 Torr W.P. 5mTorr depo. time 30' 두께는 약 1.22 마이크로 미터입니다...
