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화학약품 등을 사용하는 습식 식각과 부식성가스 등을 사용하는 건식 식각으로 구분 - 식각 시 사용되는 PFC 계열의 CF4, CHF3 공정가스로 인해 지구온난화 문제를 가지고 있어 POU 스크러버 등 처리기술이 요구됨 ○ POU 스크러버(POU(Point of Use/Unit...

밝혔다. 에코프로는 삼성엔지니어링과 업무 협약을 맺고 제거 설비 개발을 추진해왔다. 에코프로는 국내에서 유일하게 PFC 유해가스 제어에 있어 대형 촉매방식을 채택하고 있다. 에코프로는 지난해 삼성엔지니어링에 1m3급 데모 설비를 납품한 바 있다...

및 가연성의 가스 중 하나인 가스 회수 시스템. 청구항 3항 제1항에 있어서, 상기 소정의 가스는PFC(Per-Fluorocompounds) 가스, 아루신 가스, 디실란 가스, 실란 가스, 디보란 및 호스핀 중 하나인 가스 회수 시스템. 청구항 4항 제1항에 있어서, 상기...

분석 기술 개발 2) 반도체·디스플레이 산업 탄소중립 협력단 3) (총괄) 반도체 식각공정용 GWP 150 이하 carbon-rich PFC 대체가스 및 공정기술개발 4) (1세부) 반도체 식각공정용 GWP 150 이하 carbon-rich PFC 대체가스 개발 5) (2세부) 반도체 식각...