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화학약품 등을 사용하는 습식 식각과 부식성가스 등을 사용하는 건식 식각으로 구분 - 식각 시 사용되는 PFC 계열의 CF4, CHF3 공정가스로 인해 지구온난화 문제를 가지고 있어 POU 스크러버 등 처리기술이 요구됨 ○ POU 스크러버(POU(Point of Use/Unit...

밝혔다. 에코프로는 삼성엔지니어링과 업무 협약을 맺고 제거 설비 개발을 추진해왔다. 에코프로는 국내에서 유일하게 PFC 유해가스 제어에 있어 대형 촉매방식을 채택하고 있다. 에코프로는 지난해 삼성엔지니어링에 1m3급 데모 설비를 납품한 바 있다...

및 가연성의 가스 중 하나인 가스 회수 시스템. 청구항 3항 제1항에 있어서, 상기 소정의 가스는PFC(Per-Fluorocompounds) 가스, 아루신 가스, 디실란 가스, 실란 가스, 디보란 및 호스핀 중 하나인 가스 회수 시스템. 청구항 4항 제1항에 있어서, 상기...

내년부터 프레온가스 전면 사용금지 ‘HFC’ & ‘PFC’ 대체물질로 거론 2009년 06월 11일 (목) 18:10:08 최정은 기자 XX@XX 프레온(CFC, chlorofluorocarbon)가스 사용이 오는 2010년부터 전면 사용 금지된다. CFC는 냉장고의 냉매...

분석 기술 개발 2) 반도체·디스플레이 산업 탄소중립 협력단 3) (총괄) 반도체 식각공정용 GWP 150 이하 carbon-rich PFC 대체가스 및 공정기술개발 4) (1세부) 반도체 식각공정용 GWP 150 이하 carbon-rich PFC 대체가스 개발 5) (2세부) 반도체 식각...

SF6 등의 특수 가스로, 대기 방출시 지구온난화 지수가 이산화탄소 대비 최대 2만배 이상 높은 대표적인 온실가스다. 에코프로는 2001년 PFC 제거설비 개발에 착수해 10년 만에 세계 최초로 30CMM급 이상의 대형설비로 상용화 했다. 특히, 국내에서 유일...

오존층 파괴의 주범인 프레온가스 등의 소비를 제한하는 이른바 '몬트리올의정서'가 제정되게 된다. 이에 따라 듀퐁, 영국 IC등...생산에 나서기 시작했다. CFC의 개발 대체품은 크게 PFC(perfluoro carbon)와 HFC(hydrofluoro carbon) 둘로 분류된다...

이 가스는 즉각 폭발을 하거나 압축공기 엔진 안에 넣을 수 있다. 인간의 뇌 역시 열역학적 시스템으로, 이 시스템은 신진대사 작업을 수행할 수 있다. 이와 같은 에너지는 줄joul이라는 단위로 측정된다. 이와 반대로 정보이론에서 등장하는 자유에너지란...

이용변화와 산림에 의한 온실가스 제거를 의무이행 당사국의 감축량에 포함하도록 하였다. 그 예로 유럽연합 -8%, 일본 -6% 의...CO2), 메탄(CH4), 아산화질소(N2O), 불화탄소(PFC), 수소화불화탄소(HFC), 불화유황(SF6) 등 6가지이다. 당사국은 온실...